图2 ELID磨削原理示意图

    ELID 磨削技术成功地解决了铸铁纤维、铸铁结合剂超硬磨料进行在线电解修整磨削的技术，解决了铸铁基砂轮整形、修锐等难题，而且使得超微细金刚石、CBN磨料（粒径为几微米至5nm）能够应用于超精密镜面磨削。其平面磨床系统原理图见图2。

    在修整过程中铸铁基砂轮作为阳极，工具作为阴极，在砂轮外圆表面和电极的间隙中通过有电解能力的磨削液，在电源作用下，利用电解过程中的阳极溶解效应，对砂轮表层的金属基体进行电解去除，使金刚石磨粒逐渐露出砂轮表面，从而形成对砂轮的修整作用。在电解修整过程中，砂轮表层形成一层有绝缘作用的氧化膜，该膜的厚度对电导率有直接的影响，可以减缓和阻止进一步的电解，使电解速度降低，以免使砂轮损耗过快。该层氧化膜组织较疏松，能够使磨钝磨粒及时脱落，减少砂轮的堵塞，降低磨削力与磨削温度。当砂轮表面的磨料磨损后，出刃高度降低，由于工件材料的刮擦作用，使氧化膜变薄，导电性恢复，金属基体电解过程加快，使磨料出刃高度增加，氧化膜变厚。由于这种非线性电解作用的结果，可以使这种修整作用对磨削过程有一定的自适应能力，砂轮表面与金属基体的去除速度与磨料消耗的速度达到动态平衡，最终使得砂轮表面结合剂基体不断地被电解，新的磨料不断露出，以保证金属基砂轮在磨削过程中的锐利性，不会造成砂轮的堵塞现象，非常有利于微细粒度砂轮和提高磨削表面质量。而砂轮也不会过快消耗，能充分发挥超硬磨料的磨削能力。

    本试验材料采用钢结硬质合金材料GT35，采用精密卧轴矩台平面磨床MM7120，ELID镜面磨削多功能高频脉冲电源JMDMD-I型与W10、W1.5铁基结合剂金刚石砂轮进行ELID精密磨削加工。使用表面轮廓测量仪测量钢结硬质合金表面粗糙度。并应用Nanoscaping-IIIA原子力显微镜对钢结硬质合金磨削表面进行微观分析。